Sistema de medición de temperatura con mascarilla in situ VTMS
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El sistema de medición de temperatura de máscara (VTMS) in situ se utiliza para monitorear y verificar la temperatura durante la escritura de la máscara de haz de electrones. Dado que la escritura con haz de electrones en las máscaras requiere una estabilidad de temperatura extremadamente alta durante períodos prolongados, el VTMS recopila continuamente datos de temperatura para proporcionar la información necesaria para garantizar la estabilidad térmica del sistema de máscara.
El sistema de medición de temperatura de máscara (VTMS) in situ se utiliza para monitorear y verificar la temperatura durante la escritura de la máscara de haz de electrones. Dado que la escritura con haz de electrones en las máscaras requiere una estabilidad de temperatura extremadamente alta durante períodos prolongados, el VTMS recopila continuamente datos de temperatura para proporcionar la información necesaria para garantizar la estabilidad térmica del sistema de máscara.
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