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Las soluciones de monitorización de procesos in situ de ZHICE-ELEC permiten a los ingenieros visualizar, analizar y gestionar las complejidades de las condiciones de manipulación de obleas y procesos, garantizando un control y una eficiencia óptimos. Nuestros sensores de temperatura de precisión ≤10 mK, transmisores y termómetros multicanal, junto con nuestros sistemas de medición de temperatura de obleas TC/RTD/NTC, la monitorización inalámbrica de la temperatura de las obleas, la medición de la temperatura de las máscaras y los tanques de control de temperatura MOCVD, han logrado una amplia aceptación y utilización en la industria de semiconductores, estableciendo un nuevo estándar de excelencia en el control de temperatura.

  • Las obleas instrumentadas se utilizan en equipos de procesamiento de semiconductores donde es fundamental comprender y controlar la temperatura en la superficie de la oblea.
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  • El sistema de medición de temperatura de obleas cableadas in situ NTC Wafer proporciona métodos de medición y monitorización de la temperatura de las obleas de alta precisión y fiabilidad para mejorar el rendimiento, la calidad y la productividad de los equipos de procesamiento.
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  • Las obleas instrumentadas se utilizan en equipos de procesamiento de semiconductores donde es fundamental comprender y controlar la temperatura. atla superficie de la oblea.Oblea TC in situWirad Ttemperatura Mmedición SLos sistemas son comúnmente usado para aplicaciones tales como procesamiento térmico rápido (RTP), recocido térmico rápido (RTA), horneado posterior a la exposición (PEB), deposición química de vapor (CVD), deposición física de vapor (PVD), ION implantación, células solares y muchos otros procesos impulsados ​​por calor.
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  • Los transmisores de temperatura de la serie TT están diseñados para la medición y el control de temperatura de alta precisión en equipos avanzados. Compatibles con sensores de temperatura resistivos, incorporan una interfaz de comunicación RS485 que admite el protocolo Modbus RTU estándar. El transmisor cuenta con un diseño aislado entre los módulos de comunicación y medición, lo que garantiza una gran capacidad antiinterferencias. Equipado con un convertidor AD de alta precisión de 24 bits y componentes de referencia de baja deriva, ofrece una excelente estabilidad a largo plazo. Parámetros como la configuración, la calibración y las características del sensor son programables por el usuario.
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  • Los transmisores de temperatura de la serie TT están diseñados para la medición y el control de temperatura de alta precisión en equipos avanzados. Compatibles con sensores de temperatura de termistor, cuentan con una interfaz de comunicación RS485 que admite el protocolo estándar Modbus RTU. El transmisor adopta un diseño aislado entre los módulos de comunicación y medición, lo que garantiza una gran capacidad antiinterferencias. Equipado con un convertidor AD de alta precisión de 24 bits y componentes de referencia de baja deriva, ofrece una excelente estabilidad a largo plazo. Parámetros como la configuración, la calibración y las características del sensor son... Programable por el usuario.
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  • Los transmisores de temperatura de la serie TT están diseñados para la medición y el control de temperatura de alta precisión en equipos avanzados. Compatibles con sensores de temperatura de termistor, cuentan con una interfaz de comunicación RS485 que admite el protocolo estándar Modbus RTU. El transmisor adopta un diseño aislado entre los módulos de comunicación y medición, lo que garantiza una gran capacidad antiinterferencias. Equipado con un convertidor AD de alta precisión de 24 bits y componentes de referencia de baja deriva, ofrece una excelente a largo plazo estabilidad. Parámetros como la configuración, la calibración y las características del sensor son programables por el usuario.
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  • 1. Sensor NTC de precisión;2. Aspirar a través de la brida;3. Termómetro multicanal de precisión;4. Software de adquisición y análisis de temperatura DAQ TEMP.
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  • El sistema de medición de temperatura de máscara (VTMS) in situ se utiliza para monitorear y verificar la temperatura durante la escritura de la máscara de haz de electrones. Dado que la escritura con haz de electrones en las máscaras requiere una estabilidad de temperatura extremadamente alta durante períodos prolongados, el VTMS recopila continuamente datos de temperatura para proporcionar la información necesaria para garantizar la estabilidad térmica del sistema de máscara.
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