Medición de temperatura de oblea cableada in situ

Las obleas instrumentadas se utilizan en equipos de procesamiento de semiconductores donde es fundamental comprender y controlar la temperatura en la superficie de la oblea.

El sistema de medición de temperatura de obleas cableadas in situ de obleas NTC proporciona métodos confiables y de medición de temperatura de obleas de alta precisión para mejorar el rendimiento, la calidad y el rendimiento del equipo de proceso.

Las obleas instrumentadas se utilizan en equipos de procesamiento de semiconductores donde es fundamental comprender y controlar la temperatura. at la superficie de la oblea.Oblea TC in situ Wenojado Ttemperatura Mmedición Slos sistemas son comúnmente usado para aplicaciones tales como procesamiento térmico rápido (RTP), recocido térmico rápido (RTA), horneado posterior a la exposición (PEB), deposición química de vapor (CVD), deposición física de vapor (PVD), ION implantación, células solares y muchos otros procesos impulsados por calor.