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Sistema de prueba de temperatura de precisión de cámara de vacío para equipos semiconductores

Sistema de prueba de temperatura de precisión de cámara de vacío para equipos semiconductores (Vac.TEMP)

Sistema de prueba de temperatura de precisión de cámara de vacío para equipos semiconductores (Vac.TEMP)

1. Sensor NTC de precisión;

2. Aspirar a través de la brida;

3. Termómetro multicanal de precisión;

4. Software de adquisición y análisis de temperatura DAQ TEMP.

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  • Detalles de producto

1. Sensor NTC de precisión;

2. Aspirar a través de la brida;

3. Termómetro multicanal de precisión;

4. Software de adquisición y análisis de temperatura DAQ TEMP.

 

Especificación técnica para el sensor de temperatura NTC de precisión

 

Nombre

Presupuesto

Resistencia estándar

10000Ω@25℃

Precisión absoluta

≤10、5、1mK

Repetibilidad

≤1mK@30min、1Hz

Deriva anual

<10、5、1mK

sistema de linea

4 lineas

Embalaje de sonda

Envase cilíndrico de 316L o especificado, lleno internamente sin dejar aire ni fugas.

material de plomo

PTFE vacío

Tiempo de respuesta

≤1s

Tamaño de la sonda

≤φ2,0*10mm

Conector

DB

Pasamuros de vacío

Brida

terminal de plomo

Enchufe de aviación inteligente

Calibración

Proporcionar informe de calibración

 

Especificación técnica para el colector de temperatura 618A/NTC

Nombre

Presupuesto

Rango de calibración de temperatura

16-70 ℃

Precisión absoluta del módulo de medición.

≤ 10, 5 1mK@1Hz /Canal

Deriva anual del módulo de medición

≤10、5、1mK

Número de canales de medición

4. 8, 16, 32, 120 opciones para elegir

Frecuencia de muestreo

Ajustable, máximo ≥ 10 Hz/canal

Corriente de excitación

≤10uA

Luz indicadora de funcionamiento/fallo

Control independiente de un solo canal

Aporte

NTC de 4 hilos

Interfaz de comunicación

LAN/RS485/USB

Protocolo de comunicación

Modbus RTU

Formato de datos

Tiempo de la máquina - valor de temperatura del canal correspondiente

Función de registro de tiempo del equipo.

Hay un reloj interno, y cuando la frecuencia de adquisición es

menos de 1Hz, el error de tiempo es ≤ 0,1 s

Interfaz de sonda de temperatura

enchufe de aviación

Software

Compatible con software de adquisición de datos DAQ

Fuente de alimentación

Adaptador AC220V

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