Sistema de prueba de temperatura de precisión de cámara de vacío para equipos semiconductores (Vac.TEMP)
1. Sensor NTC de precisión;
2. Aspirar a través de la brida;
3. Termómetro multicanal de precisión;
4. Software de adquisición y análisis de temperatura DAQ TEMP.
1. Sensor NTC de precisión;
2. Aspirar a través de la brida;
3. Termómetro multicanal de precisión;
4. Software de adquisición y análisis de temperatura DAQ TEMP.
Especificación técnica para el sensor de temperatura NTC de precisión
Nombre | Presupuesto |
Resistencia estándar | 10000Ω@25℃ |
Precisión absoluta | ≤10、5、1mK |
Repetibilidad | ≤1mK@30min、1Hz |
Deriva anual | <10、5、1mK |
sistema de linea | 4 lineas |
Embalaje de sonda | Envase cilíndrico de 316L o especificado, lleno internamente sin dejar aire ni fugas. |
material de plomo | PTFE vacío |
Tiempo de respuesta | ≤1s |
Tamaño de la sonda | ≤φ2,0*10mm |
Conector | DB |
Pasamuros de vacío | Brida |
terminal de plomo | Enchufe de aviación inteligente |
Calibración | Proporcionar informe de calibración |
Especificación técnica para el colector de temperatura 618A/NTC
Nombre | Presupuesto |
Rango de calibración de temperatura | 16-70 ℃ |
Precisión absoluta del módulo de medición. | ≤ 10, 5 1mK@1Hz /Canal |
Deriva anual del módulo de medición | ≤10、5、1mK |
Número de canales de medición | 4. 8, 16, 32, 120 opciones para elegir |
Frecuencia de muestreo | Ajustable, máximo ≥ 10 Hz/canal |
Corriente de excitación | ≤10uA |
Luz indicadora de funcionamiento/fallo | Sí |
Control independiente de un solo canal | Sí |
Aporte | NTC de 4 hilos |
Interfaz de comunicación | LAN/RS485/USB |
Protocolo de comunicación | Modbus RTU |
Formato de datos | Tiempo de la máquina - valor de temperatura del canal correspondiente |
Función de registro de tiempo del equipo. | Hay un reloj interno, y cuando la frecuencia de adquisición es menos de 1Hz, el error de tiempo es ≤ 0,1 s |
Interfaz de sonda de temperatura | enchufe de aviación |
Software | Compatible con software de adquisición de datos DAQ |
Fuente de alimentación | Adaptador AC220V |
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