Medición de temperatura de oblea cableada in situ de oblea NTC
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El sistema de medición de temperatura de obleas cableadas in situ de obleas NTC proporciona métodos confiables y de medición de temperatura de obleas de alta precisión para mejorar el rendimiento, la calidad y el rendimiento del equipo de proceso.
Presupuesto
Nombre | Presupuesto |
Resistencia nominal | 10 kΩ, 5 KΩ a 25 ℃ |
Rango de temperatura (℃) | 0-100℃ |
Precisión de medición (mK) | Capaz de alcanzar ±0,01 ℃, ±0,001 ℃ |
Precisión de repetición (mK) | Capaz de alcanzar <0,01 ℃, <0,002 ℃ |
Cable | 4 hilos |
Tamaño de oblea | 4, 6, 8 y 12 pulgadas |
Número de puntos de medición de temperatura (piezas) | Seleccionable |
Distribución de puntos | Distribución media o según requerimientos del usuario. |
Espesor (mm) | 0,725 |
Pasamuros de vacío | Cable plano de poliimida, atmosférico con capacidad de 10-7 Torr, longitud designada por el cliente. |
Longitud del cable L1 | 2、3、5、10（m), se puede personalizar |
terminal de plomo | DB o enchufe de aviación |
Calibración | Proporcionar certificado de autocalibración ZHICE-ELEC |
Software de adquisición de temperatura
ZCDAQ TEMP recopila y analiza con precisión datos de temperatura de obleas y puede proporcionar mediciones de temperatura multipunto. El software visualiza la distribución de temperatura y los cambios con gráficos y proporciona soluciones integradas de hardware y software.
Módulos de temperatura de alta precisión
Presupuesto
Nombre | Presupuesto |
Rango de temperatura (℃) | 0-100℃ |
Precisión de medición (mK) | Puede alcanzar ±0,01 ℃, ±0,001 ℃ |
Precisión de repetición (mK) | Puede alcanzar <0,01 ℃, <0,002 ℃ |
Resolución de medición (mK) | 0,001 ℃, 0,0001 ℃ |
Número de canales de medición (piezas) | 8, 18, 32, 48, etc. seleccionables |
Frecuencia de muestreo | 1Hz |
Corriente de excitación (uA) | ≤10 |
Operación/fallo luz indicadora | Sí |
Control independiente de un solo canal | Sí |
Aporte | Termistor de 4 hilos de 10 K Ω |
Interfaz de comunicación | LAN/RS485/USB |
Protocolo de comunicación | Modbus RTU |
Interfaz de sonda de temperatura | DB o enchufe de aviación |
Software de toma y registro de temperatura | Oblea ZCDAQ, recopile, registre, analice y mapee calor |
Fuente de alimentación | CA 220 V/50 Hz. |
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