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Medición de temperatura de oblea cableada in situ

NTC Wafer In Situ Wired Wafer Temperature Measurement

NTC Wafer In Situ Wired Wafer Temperature Measurement

NTC Wafer In Situ Wired Wafer Temperature Me asurement system provides high-precision and reliable wafer temperature measurement and monitoring methods to improve process equipment performance, quality and yield.

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Specifications

Name

Specifications

Nominal resistance

10kΩ,5KΩ@25℃

Temperature range (℃)

0-100℃

Measurement accuracy (mK)

Able to reach ±0.01℃,±0.001℃

Repetition accuracy(mK)

Able to reach <0.01℃,<0.002℃

Wire

4-wire

Wafer size

4, 6, 8, and 12 inches

Number of temperature measurement points (pieces)

Selectable

Point distribution

Average distribution or according to user requirements

Thickness (mm)

0.725

Vacuum feedthrough

Polyimide flat cable, atmospheric to 10-7 Torr capable,

length designated by customer.

Lead length L1

2、3、5、10(m), can be customized

Lead terminal

DB or aviation plug

Calibration

Provide ZHICE-ELEC self calibration certificate

 

Temperature acquisition Software

ZCDAQ TEMP accurately collects and analyzes temperature data of wafers, and can provide multi-point temperature measurement. The software visualizes temperature distribution and changes with charts and provides hardware and software embedded solutions.

 

 

High Precision Temperature Modules

Specifications

Name

Specifications

Temperature range (℃)

0-100℃

Measurement accuracy (mK)

Can reach ±0.01℃,±0.001℃

Repetition accuracy (mK)

Can reach <0.01℃,<0.002℃

Measurement resolution (mK)

0.001℃,0.0001℃

Number of measurement channels (pieces)

8, 18, 32, 48, etc. selectable

Sampling frequency

1Hz

Excitation current (uA)

≤10

Operation/fault

indicator light

Yes

Single channel independent control

Yes

Input

4-wire 10K Ω thermistor

Communication interface

LAN/RS485/USB

Communication protocol

Modbus RTU

Temperature probe interface

DB or aviation plug

Temperature collection and recording software

ZCDAQ Wafer, Collect, record, analyze, and heat map

Power supply

AC220V/50Hz

 

 

ETIQUETAS CALIENTES :
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