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Medición de temperatura de obleas cableadas in situ

Medición de temperatura de oblea cableada in situ con NTC

Medición de temperatura de oblea cableada in situ con NTC

El sistema de medición de temperatura de obleas cableadas in situ NTC Wafer proporciona métodos de medición y monitorización de la temperatura de las obleas de alta precisión y fiabilidad para mejorar el rendimiento, la calidad y la productividad de los equipos de procesamiento.

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  • Detalles de producto

Presupuesto

Nombre

Presupuesto

Resistencia nominal

10 kΩ, 5 kΩ a 25 ℃

Rango de temperatura (℃)

0-100℃

Precisión de la medición (mK)

Capaz de alcanzar ±0,01℃, ±0,001℃

Precisión de repetición (mK)

Capaz de alcanzar <0,01℃,<0,002℃

Cable

4 cables

Tamaño de la oblea

4, 6, 8 y 12 pulgadas

Número de puntos de medición de temperatura (piezas)

Seleccionable

Distribución de puntos

Distribución promedio o según los requisitos del usuario.

Espesor (mm)

0,725

Paso de vacío

Cable plano de poliimida, con capacidad para presiones atmosféricas hasta 10⁻⁷ Torr.

longitud especificada por el cliente.

Longitud del cable L1

2, 3, 5, 10 (m), se puede personalizar

Terminal de plomo

Enchufe DB o de aviación

Calibración

Proporcione el certificado de autocalibración ZHICE-ELEC.

 

Software de adquisición de temperatura

ZCDAQ TEMP recopila y analiza con precisión los datos de temperatura de las obleas y permite la medición de temperatura en múltiples puntos. El software visualiza la distribución y las variaciones de temperatura mediante gráficos y ofrece soluciones integradas de hardware y software.

 

 

Módulos de temperatura de alta precisión

Presupuesto

Nombre

Presupuesto

Rango de temperatura (℃)

0-100℃

Precisión de la medición (mK)

Puede alcanzar ±0,01℃, ±0,001℃

Precisión de repetición (mK)

Puede alcanzar <0,01℃,<0,002℃

Resolución de medición (mK)

0,001℃, 0,0001℃

Número de canales de medición (piezas)

8, 18, 32, 48, etc. seleccionables

Frecuencia de muestreo

1 Hz

Corriente de excitación (uA)

≤10

Funcionamiento/fallo

luz indicadora

Control independiente de un solo canal

Aporte

Termistor de 4 hilos y 10 kΩ

Interfaz de comunicación

LAN/RS485/USB

Protocolo de comunicación

Modbus RTU

Interfaz de sonda de temperatura

Enchufe DB o de aviación

Software para la recopilación y el registro de temperatura

Oblea ZCDAQ: Recopila, registra, analiza y crea mapas de calor.

Fuente de alimentación

CA 220V/50Hz

 

 

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