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Medición de temperatura de oblea cableada in situ

TC WAFER Medición de temperatura de oblea cableada in situ

TC WAFER Medición de temperatura de oblea cableada in situ

Las obleas instrumentadas se utilizan en equipos de procesamiento de semiconductores donde es fundamental comprender y controlar la temperatura. at la superficie de la oblea.

Oblea TC in situ Wenojado Ttemperatura Mmedición Slos sistemas son comúnmente usado para aplicaciones tales como procesamiento térmico rápido (RTP), recocido térmico rápido (RTA), horneado posterior a la exposición (PEB), deposición química de vapor (CVD), deposición física de vapor (PVD), ION implantación, células solares y muchos otros procesos impulsados por calor.

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Las obleas instrumentadas se utilizan en equipos de procesamiento de semiconductores donde es fundamental comprender y controlar la temperatura. at la superficie de la oblea.

Oblea TC in situ Wenojado Ttemperatura Mmedición Slos sistemas son comúnmente usado para aplicaciones tales como procesamiento térmico rápido (RTP), recocido térmico rápido (RTA), horneado posterior a la exposición (PEB), deposición química de vapor (CVD), deposición física de vapor (PVD), ION implantación, células solares y muchos otros procesos impulsados por calor.

 

Software de adquisición de temperatura

ZCDAQ TEMP recopila y analiza con precisión datos de temperatura de obleas, proporciona soluciones de medición de temperatura multipunto, visualiza la distribución de temperatura y gráficos de tendencias. ZCDAQ TEMP proporciona soluciones integradas de hardware y software que pueden medir obleas de cualquier tamaño y hasta 68 canales de entradas de termopar.

 

Módulos de temperatura de alta precisión

Temperatura del zócalo miniatura de 12 canales módulo

Características

  • Conexión de enchufe en miniatura

  • Temperatura máxima de termopar de 12 canales medición

  • Control de interruptor independiente de canal

  • Indicación de fallo operativo

  • Puertos de comunicación RJ45, RS485, USB, Bluetooth

  • Protocolo de comunicación Modbus

  • Admite montaje en riel estándar

  • Dirección del módulo programable, velocidad en baudios, puerto de red, etc.

  • Fuente de alimentación CA 220 V/CC 24 V

 

Módulo de temperatura de conector sub-D 17x4

Características

  • Conexión de terminal DB37 integrada

  • Medición de temperatura hasta 68 canales.

  • Control de interruptor independiente de canal

  • Indicación de fallo operativo

  • Puertos de comunicación LAN, RS485, USB, Bluetooth

  • Protocolo de comunicación Modbus

  • Admite montaje en riel estándar

  • Dirección del módulo programable, velocidad en baudios, puerto de red, etc.

  • Fuente de alimentación CA 220 V/CC 24 V

 

Presupuesto

Nombre

Módulo de temperatura con conector miniatura de 12 canales

Módulo de temperatura de conector sub-D 17x4

Modelo

Módulo de temperatura de precisión/TC/MPJ*12

Módulo de temperatura de precisión/TC/DB17

Tipo de sonda de temperatura

Termopar tipo K

Termopar tipo T

Termopar tipo K

Termopar tipo T

Medición de temperatura rango

-270~1372℃

-270~400℃

-270~1372℃

-270~400℃

Precisión de medición

±1,1 ℃ ±0,1 % lecturas

±0,6 ℃ ±0,1% lecturas

±1,1 ℃ ±0,1 % lecturas

±0,5 ℃ ±0,1% lecturas

Resolución de medición

≤0,01

≤0,01

Número de medidas canales

12

17*1、17*2、17*3、17*4（Opcional y extensible）

Frecuencia de muestreo

≥1Hz/por canal

≥1Hz/por canal

Indicador de funcionamiento/fallo

Sí

Sí

Sonda de temperatura interfaz

MPJ Conector para termopar en miniatura

DB37 (17 canales)

interfaz de red

RJ45

RJ45

Puerto USB

USB tipo B

USB tipo B

Puerto RS485

Terminal

Terminal

bluetooth

Bluetooth5.0

Bluetooth5.0

Protocolo de comunicación

Modbus

Modbus

Software de aplicación

Software de adquisición de datos DAQ, adquisición de datos,

registro, análisis estadístico

Software de adquisición de datos DAQ, adquisición de datos,

registro, análisis estadístico

Fuerza(W)

≤3W

≤3W

Fuente de alimentación(V)

AC220V/DC24V (se puede seleccionar)

AC220V/DC24V (se puede seleccionar)

Interfaz de energía

Toma de corriente CA / Terminal DC3*7,62 mm

Toma de corriente CA / Terminal DC3*7,62 mm

Modo de instalación

Instalación opcional de riel guía estándar de 35 mm

Instalación opcional de riel guía estándar de 35 mm

Tamaño de referencia del módulo(mm)

188*160*56 (largo x ancho x alto)

188*160*56 (largo x ancho x alto)

 

Rango de temperatura:-50-350 ℃/-50-700 ℃/-50-1200 ℃

Tipo de termopar:Tipo T/tipo K

Exactitud:±0,5 ℃ ±0,1 % lecturas

Diámetro del alambre:0,127 、 0,254 mm

Puntos de prueba:1~68

Dirigir:Personalizable

Delimitación: Adhesivo de silicona/soldado

Terminación del cable:DB37、Mini enchufe

Material de la oblea:Oblea de silicio, zafiro, carburo de silicio, etc. (la forma y el tamaño del sustrato se pueden personalizar)

Tamaño de oblea:50 mm, 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm

Alimentación de vacío: Alimentación de poliimida, la presión atmosférica puede alcanzar 10-7 Torr (longitud especificada por el cliente)

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