Las obleas instrumentadas se utilizan en equipos de procesamiento de semiconductores donde es fundamental comprender y controlar la temperatura.atla superficie de la oblea.
Oblea TC in situWiradTtemperaturaMmediciónSLos sistemas soncomúnmenteusadoparaaplicaciones tales como procesamiento térmico rápido (RTP), recocido térmico rápido (RTA), horneado posterior a la exposición (PEB), deposición química de vapor (CVD), deposición física de vapor (PVD),IONimplantación, células solares y muchos otros procesos impulsados por calor.
Software de adquisición de temperatura
ZCDAQ TEMP recopila y analiza con precisión los datos de temperatura de las obleas, proporciona soluciones de medición de temperatura multipunto y visualiza la distribución de temperatura y los gráficos de tendencias. ZCDAQ TEMP ofrece soluciones integradas de hardware y software que permiten medir obleas de cualquier tamaño y hasta 68 canales de entrada de termopares.
Módulos de temperatura de alta precisión
Temperatura del zócalo miniatura de 12 canalesmódulo
Características
Conexión de enchufe miniatura
Temperatura máxima del termopar de 12 canalesmedición
Control de conmutación independiente del canal
Indicación de fallo operativo
Puertos de comunicación RJ45, RS485, USB y Bluetooth
protocolo de comunicación Modbus
Admite montaje en riel estándar
Dirección del módulo programable, velocidad de transmisión,puerto de red, etc.
Fuente de alimentación AC220V/DC24V
Módulo de temperatura con conector D-sub de 17x4
Características
Conexión de terminal DB37 integrada
Medición de temperatura de hasta 68 canales
Control de conmutación independiente del canal
Indicación de fallo operativo
Puertos de comunicación LAN, RS485, USB y Bluetooth.
protocolo de comunicación Modbus
Admite montaje en riel estándar
Dirección del módulo programable, velocidad de transmisión,puerto de red, etc.
Fuente de alimentación AC220V/DC24V
Presupuesto
Nombre | Módulo de temperatura de enchufe miniatura de 12 canales | Módulo de temperatura con conector D-sub de 17x4 |
Modelo | Módulo de temperatura de precisión/TC/MPJ*12 | Módulo de temperatura de precisión/TC/DB17 |
Tipo de sonda de temperatura | Termopar tipo K | Termopar tipo T | Termopar tipo K | Termopar tipo T |
Medición de temperaturarango | -270~1372℃ | -270~400℃ | -270~1372℃ | -270~400℃ |
Precisión de la medición | Lecturas de ±1,1 ℃ ±0,1 % | Lecturas de ±0,6 ℃ ±0,1 % | Lecturas de ±1,1 ℃ ±0,1 % | Lecturas de ±0,5 ℃ ±0,1 % |
Resolución de medición | ≤0,01 | ≤0,01 |
Número de medicionescanales | 12
| 17*1, 17*2, 17*3, 17*4 (opcional y ampliable) |
Frecuencia de muestreo | ≥1 Hz/Por canal | ≥1 Hz/Por canal |
Indicador de funcionamiento/fallo | Sí | Sí |
Sonda de temperaturainterfaz | Conector para termopar miniatura MPJ | DB37 (17 canales) |
Interfaz de red | RJ45 | RJ45 |
puerto USB | USB tipo B | USB tipo B |
Puerto RS485 | Terminal | Terminal |
Bluetooth | Bluetooth 5.0 | Bluetooth 5.0 |
Protocolo de comunicación | Modbus | Modbus |
Software de aplicación | Software de adquisición de datos DAQ, adquisición de datos, registro, análisis estadístico | Software de adquisición de datos DAQ, adquisición de datos, registro, análisis estadístico |
Fuerza(W) | ≤3W | ≤3W |
Fuente de alimentación(V) | AC220V/DC24V (Se puede seleccionar) | AC220V/DC24V (Se puede seleccionar) |
Interfaz de alimentación | Toma de corriente alterna / Terminal de CC 3*7,62 mm | Toma de corriente alterna / Terminal de CC 3*7,62 mm |
Modo de instalación | Instalación opcional de riel guía estándar de 35 mm | Instalación opcional de riel guía estándar de 35 mm |
Tamaño de referencia del módulo(mm) | 188*160*56 (largo*ancho*alto) | 188*160*56 (largo*ancho*alto) |
Rango de temperatura:-50-350℃/-50-700℃/-50-1200℃
Tipo de termopar:Tipo T/tipo K
Exactitud:Lecturas de ±0,5 ℃ ±0,1 %
Diámetro del alambre:0,127, 0,254 mm
Puntos de prueba:1~68
Dirigir:Personalizable
Delimitación: Adhesivo de silicona/soldado
Terminación del cable:DB37, mini enchufe
Material de la oblea:Oblea de silicio, zafiro, carburo de silicio, etc. (la forma y el tamaño del sustrato se pueden personalizar).
Tamaño de la oblea:50 mm, 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm
Paso de vacío: Conexión pasante de poliimida, la presión atmosférica puede alcanzar 10⁻⁷ Torr (longitud especificada por el cliente).
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RED SOPORTADA
