TC WAFER Medición de temperatura de oblea cableada in situ
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Las obleas instrumentadas se utilizan en equipos de procesamiento de semiconductores donde es fundamental comprender y controlar la temperatura. at la superficie de la oblea.
Oblea TC in situ Wenojado Ttemperatura Mmedición Slos sistemas son comúnmente usado para aplicaciones tales como procesamiento térmico rápido (RTP), recocido térmico rápido (RTA), horneado posterior a la exposición (PEB), deposición química de vapor (CVD), deposición física de vapor (PVD), ION implantación, células solares y muchos otros procesos impulsados por calor.
Las obleas instrumentadas se utilizan en equipos de procesamiento de semiconductores donde es fundamental comprender y controlar la temperatura. at la superficie de la oblea.
Oblea TC in situ Wenojado Ttemperatura Mmedición Slos sistemas son comúnmente usado para aplicaciones tales como procesamiento térmico rápido (RTP), recocido térmico rápido (RTA), horneado posterior a la exposición (PEB), deposición química de vapor (CVD), deposición física de vapor (PVD), ION implantación, células solares y muchos otros procesos impulsados por calor.
Software de adquisición de temperatura
ZCDAQ TEMP recopila y analiza con precisión datos de temperatura de obleas, proporciona soluciones de medición de temperatura multipunto, visualiza la distribución de temperatura y gráficos de tendencias. ZCDAQ TEMP proporciona soluciones integradas de hardware y software que pueden medir obleas de cualquier tamaño y hasta 68 canales de entradas de termopar.
Módulos de temperatura de alta precisión
Temperatura del zócalo miniatura de 12 canales módulo
Características
Conexión de enchufe en miniatura
Temperatura máxima de termopar de 12 canales medición
Control de interruptor independiente de canal
Indicación de fallo operativo
Puertos de comunicación RJ45, RS485, USB, Bluetooth
Protocolo de comunicación Modbus
Admite montaje en riel estándar
Dirección del módulo programable, velocidad en baudios, puerto de red, etc.
Fuente de alimentación CA 220 V/CC 24 V
Módulo de temperatura de conector sub-D 17x4
Características
Conexión de terminal DB37 integrada
Medición de temperatura hasta 68 canales.
Control de interruptor independiente de canal
Indicación de fallo operativo
Puertos de comunicación LAN, RS485, USB, Bluetooth
Protocolo de comunicación Modbus
Admite montaje en riel estándar
Dirección del módulo programable, velocidad en baudios, puerto de red, etc.
Fuente de alimentación CA 220 V/CC 24 V
Presupuesto
Nombre | Módulo de temperatura con conector miniatura de 12 canales | Módulo de temperatura de conector sub-D 17x4 | ||
Modelo | Módulo de temperatura de precisión/TC/MPJ*12 | Módulo de temperatura de precisión/TC/DB17 | ||
Tipo de sonda de temperatura | Termopar tipo K | Termopar tipo T | Termopar tipo K | Termopar tipo T |
Medición de temperatura rango | -270~1372℃ | -270~400℃ | -270~1372℃ | -270~400℃ |
Precisión de medición | ±1,1 ℃ ±0,1 % lecturas | ±0,6 ℃ ±0,1% lecturas | ±1,1 ℃ ±0,1 % lecturas | ±0,5 ℃ ±0,1% lecturas |
Resolución de medición | ≤0,01 | ≤0,01 | ||
Número de medidas canales | 12 | 17*1、17*2、17*3、17*4（Opcional y extensible） | ||
Frecuencia de muestreo | ≥1Hz/por canal | ≥1Hz/por canal | ||
Indicador de funcionamiento/fallo | Sí | Sí | ||
Sonda de temperatura interfaz | MPJ Conector para termopar en miniatura | DB37 (17 canales) | ||
interfaz de red | RJ45 | RJ45 | ||
Puerto USB | USB tipo B | USB tipo B | ||
Puerto RS485 | Terminal | Terminal | ||
bluetooth | Bluetooth5.0 | Bluetooth5.0 | ||
Protocolo de comunicación | Modbus | Modbus | ||
Software de aplicación | Software de adquisición de datos DAQ, adquisición de datos, registro, análisis estadístico | Software de adquisición de datos DAQ, adquisición de datos, registro, análisis estadístico | ||
Fuerza(W) | ≤3W | ≤3W | ||
Fuente de alimentación(V) | AC220V/DC24V (se puede seleccionar) | AC220V/DC24V (se puede seleccionar) | ||
Interfaz de energía | Toma de corriente CA / Terminal DC3*7,62 mm | Toma de corriente CA / Terminal DC3*7,62 mm | ||
Modo de instalación | Instalación opcional de riel guía estándar de 35 mm | Instalación opcional de riel guía estándar de 35 mm | ||
Tamaño de referencia del módulo(mm) | 188*160*56 (largo x ancho x alto) | 188*160*56 (largo x ancho x alto) | ||
Rango de temperatura:-50-350 ℃/-50-700 ℃/-50-1200 ℃
Tipo de termopar:Tipo T/tipo K
Exactitud:±0,5 ℃ ±0,1 % lecturas
Diámetro del alambre:0,127 、 0,254 mm
Puntos de prueba:1~68
Dirigir:Personalizable
Delimitación: Adhesivo de silicona/soldado
Terminación del cable:DB37、Mini enchufe
Material de la oblea:Oblea de silicio, zafiro, carburo de silicio, etc. (la forma y el tamaño del sustrato se pueden personalizar)
Tamaño de oblea:50 mm, 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm
Alimentación de vacío: Alimentación de poliimida, la presión atmosférica puede alcanzar 10-7 Torr (longitud especificada por el cliente)
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